미코, 세라믹소재-부품으로 반도체전공정 접수 + TC Bonder 부품
미코 사업
세라믹 소재&부품(98%, Ceramic Powder, Heater for CVD, ESC=정전척 for 패널 고정 on 식각공정), SOFC(1%), 체외진단기기(1%) / 경쟁력 : 수직계열화(세라믹 Powder-세라믹 Parts +세라믹 코팅&세정) / 자회사 : 코미코(반도체장비 코팅&세정), 미코파워(SOFC) / R&D : 전고체 전해질, 후공정용 세라믹 히터 & 부품,
1. 세라믹 히터(Ceramic Heater, 부품) : 챔버 온도 상승 for CVD 공정
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2. ESC(Electro Static Chuck, 정전척) : 웨이퍼 or 패널 고정 on Electrode for 식각공정 원활
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3. 체외진단기기
기회
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리스크
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업데이트 :
주주구성(24.3월 기준) :
미코
미코는 반도체 증착공정에서 쓰이는 세라믹 히터(Ceramic Heater), 식각공정에서 쓰이는 ESC(Electro Static Chuck, 정전척)장비를 만드는 업체에요. 그리고, 이러한 장비를 만들기 위해 세라믹, 특수소재 등을 가공하여 부품으로도 판매하고 있어요.
1) 세라믹히터(Ceramic Heater) :
반도체 증착공정 종류 중 하나인 'CVD(Chemical Vapor Deposition)'는 화학적 기상증착 방법이에요. 가장 대표적으로 웨이퍼 보호를 위해 산화막(SiO2)을 입히는 것이죠. 이때, CVD의 'V(Vapor, 기상,증발)'라는 이름에서도 알 수 있듯이 특수가스를 증발시켜서 증착시키는 것이에요. 그러면, 온도를 뜨겁게 해줄 무언가가 필요한데, 세라믹 히터가 이러한 온도를 높이는 역할을 해줍니다. 세라믹소재를 사용하여 만든 이유는 열에 강하기 때문이죠.
정리
세라믹 히터(Ceramic Heater, 부품) : 챔버 온도 상승 for CVD 공정
2) ESC(Electro Static Chuck) :
ESC장비는 웨이퍼 or 패널을 식각공정에서 돌릴 때, 고정시키는 역할을 해요. ESC는 Electro Static Chuck의 약자인데요. 이름 그대로, 정전방식(Electro Static)으로 웨이퍼 or 패널을 아래 전극(Electrode)에 부착(Chuck)시키는 역할을 해요.
정리
ESC(Electro Static Chuck) : 웨이퍼 or 패널 고정 on Electrode for 식각공정 원활
연구실적으로 보는 미코의 현 주소 :
개인적으로 미코의 연구실적과 연구계획을 보면 동사의 현 상황과 미래 비전이 보인다고 생각을 하는데요. 같이 몇 개만 살펴볼까요.
세라믹(Ceramic)은 금속원소(알루미늄, 실리콘, 티타늄 등) + 화학원소(산소, 질소, 탄소 등)을 결합한 것을 의미해요. 단단한 금속성질에 내열성을 갖춘 화학원소를 합치니 세라믹은 '고강도, 내열성' 특징을 갖게 됐죠. 동사는 전공정에 증착, 식각공정에서 쓰이는 세라믹소재, 부품을 주로 납품하고 있는데요. 후공정용으로도 납품을 준비 중에 있어요.
미코에 대한 지속적인 업데이트는 맨 위 상단을 참고하면 유익합니다 :)