미코, 세라믹소재-부품으로 반도체전공정 접수 + TC Bonder 부품
미코 사업 세라믹 소재&부품(98%, Ceramic Powder, Heater for CVD, ESC=정전척 for 패널 고정 on 식각공정), SOFC(1%), 체외진단기기(1%) / 경쟁력 : 수직계열화(세라믹 Powder-세라믹 Parts +세라믹 코팅&세정) / 자회사 : 코미코(반도체장비 코팅&세정), 미코파워(SOFC) / R&D : 전고체 전해질, 후공정용 세라믹 히터 & 부품, 1. 세라믹 히터(Ceramic Heater, 부품) : 챔버 온도 상승 for CVD 공정 ----------------------------------- 2. ESC(Electro Static Chuck, 정전척) : 웨이퍼 or 패널 고정 on Electrode for 식각공정 원활 ---------------..
