본문 바로가기

반도체_전공정장비/진공이송로봇(Wafer, Glass)

(2)
싸이맥스, 웨이퍼 진공이송로봇. 반도체설비 투자가 이어진다면?(쉽게설명!) 싸이맥스 사업 진공이송로봇(80%, Wafer), 환경설비(20%, Filter, Scrubber) 1. 진공이송로봇 : 웨이퍼 이송 in 고온, 진공 without 파티클 * 구성요소 : EFEM(Equipment Front End Module), VTM(Vacuum Transfer Module), Aligner, LPM * EFEM(Equipment Front End Module) : 대기상태에서 웨이퍼를 이송 * LPM(Load Port Module) : 웨이퍼가 나오는 도어(Door)를 열고 닫음 --------------------------------------- 2. 환경설비 : 필터(Filter), 스크러버(Scrubber) * 원리 : When 액상 in 스크러버 오염가스 만날 때, 가스..
라온테크, 웨이퍼 진공이송로봇에 자신감 넘치는 업체(쉽게설명!) 라온테크 사업 진공이송로봇(91%, Wafer, Glass), 기타(9%, A/S, 용역) / 경쟁력 : 로봇 Gripper 개발, 4축 Arm 개별제어(국내유일) / 거래처 : SK하이닉스, 삼성전자 1. 진공이송로봇 : Wafer, Glass 이송 in 반도체공정 or 디스플레이공정 * 이송모듈 : Backbone(중추) * 경쟁력 : 고온, 고진공 환경에서 파티클없이 웨이퍼 핸들링 기회 · · 리스크 · · 업데이트 : 주주구성(24.1월 기준) : 라온테크 라온테크는 반도체공정의 웨이퍼(Wafer), 디스플레이공정의 글래스(Glass)를 이송하는 장비를 만드는 업체인데요. 특히, 웨이퍼는 진공챔버에서 앞단인 전공정이 일어나기에 진공에서 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 장비가 필수적이에요. 진공상태의 웨..