넥스틴 사업
· 광학검사장비(Optical Inspection System, 전공정용 패턴결함검사) : Dark-field(산란광검사장비, UV광원이용=30nm검사가능), Bright-field(반사광검사장비, DUV광원이용=15nm검사가능) / 중국의존도 62% / 국내, 이스라엘(첩보위성보유>이미지프로세싱전문) R&D센
* 경쟁업체 : 미국KLA BF, DF 분리해서 적용, 가격2~3배, 속도10% 더 빠름 vs. 넥스틴 둘다 사용할 수 있는 플랫폼(DF,BF)
기회
· 경쟁사(미국KLA, 일본Hitachi) 대비 DF(Dark-Field), BF(Biright-Field) 하나의 장비로 사용가능한 플랫폼 보유
· 반도체 패터닝미세화로 결함검사 중요성 증가
리스크
· 미국 KLA, 일본 Hitachi 압도적인 시장점유율 > 동사는 중국에 주로 납품 중
·
업데이트 :
주주구성(23.3월 기준) :
넥스틴
넥스틴은 반도체전공정에서 만들어진 미세회로의 결함을 검사하는 장비를 납품하는 업체에요. 제품은 광학검사장비이죠. 광학검사장비는 광원을 DUV를 쓰는지, UV를 쓰는지에 따라 성능이 달라지는데요. DUV광원을 쓸 경우 반사광원리를 통해 ~15nm까지 미세검사를 할 수 있는 장점이 있습니다. 다만, 속도가 느리다는 것이 한계이죠. 이를 Bright-Fiield장비라고 불러요. 반대로, UV를 광원으로 사용한다면, 산란광원리로 빠르게 검사를 할 수 있죠. 다만, ~30nm로 DUV보다는 미세한 이미지를 얻을 수 없습니다. 이를 Dark-Field장비라고 불러요. 즉, BF(Bright-Field)는 DUV를 활용한 반사광광학검사장비이고요. DF(Dark-Field)는 UV를 활용한 산란광검사장비입니다. 광학검사장비는 모범답안지를 갖고 촬영한 데이터를 비교하여 Yes or No를 하는 장비에요. 넥스틴의 경쟁사로는 미국의 KLA(세계 M/S 1위), 일본 Hitachi가 있어요. 동사는 BF, DF를 하나의 장비로 사용할 수 있는 플랫폼을 유일하게 보유하고 있어 시장침투를 할 수 있을 것으로 기대됩니다.
광학검사장비 : DF(Dark-field, 산란광검사장비), BF(Bright-field, 반사광검사장비)
반도체는 웨이퍼 위 회로를 그려서 만들어내는 것이죠. 이때, 회로가 잘 그려졌고 이상이 없는지를 체크하는 검사장비를 넥스틴은 판매하고 있어요. 검사장비의 종류로는 전자선검사장비(E-beam Inspection System)와 광학검사장비(Optical Inspectio System)가 있습니다. 넥스틴은 광학검사장비가 주력이에요. 그래도, 비교를 위해 둘의 차이점을 설명할게요. 전자선검사장비는 원자단위의 스캐닝을 하는 것인데요. 그러다 보니, 매우 높은 배율로 회로(7nm까지)를 확대하여 검사할 수 있어요. 다만, 초진공상태에서 검사를 진행하기 때문에 매우 공정이 느리다는 단점이 있죠. 그래서, 주로 연구용으로 사용됩니다. 참고로, 파크시스템즈의 원자현미경은 대기압에서도 검사가 가능하여 주가가 오름세에 있어요('파크시스템스, 단 번에 정리')
물론, 대기압에서 검사가능한 장비도 있습니다. 광학검사장비이죠. 이것을 넥스틴이 만드는 것이죠. 괗학검사장비는 광원을 이용하기 때문에 빛의 파장이 존재하는데요. 넥스틴이 커버하는 가장 좁은 단위의 파장은 DUV용(266nm)이 있어요. 그 다음으로는 UV(355nm), 가시광선(400nm~600nm)가 있죠. 가시광선~DUV까지는 커버가능한 광학검사장비를 갖고 있다고 이해하고 있으면 됩니다. 검사원리는 간단해요. 정상적인 이미지와 검사할 이미지를 비교하여 선별하는 것이죠.
광원을 DUV를 이용하면 반사광검사장비, UV를 이용하면 산란광검사장비로 나뉩니다. 반사광검사장비는 속도는 느리지만, 더 높은 해상도를 얻을 수 있어요. 산란광검사장비는 덜 선명한 검사이지만, 더 빠른 속도로 검사가 가능합니다.
광학검사를 할 때 빛을 어떻게 이용하는지에 따라서도 종류가 나뉘는데요. 반사된 빛으로 검사하는 Bright-field검사장비, 산란광을 이용한 Dark-field 검사장비가 있어요. 반사광을 이용한 장비는 DUV를 광원으로 사용을 합니다. DUV가 가장 좁은 파장(266nm, EUV제외시)을 갖고 있었던 것을 기억하면 확실히 선명한 이미지를 얻을 수 있는 장비라는 것을 예측할 수 있죠. 다만, 높은 배율로 촬영하기에 시간이 더 걸린다는 한계는 있어요. 반사광검사장비는 식각공정, 사진공정에서 패턴결함을 발견하는데 쓰이고 있어요. 산란광검사장비(Dark-field)은 자외선(UV, Ultra Violet)을 광원으로 이용을 해요. 높은 배율은 아니기에 반사광을 이용한 광원보다는 덜 선명하지만, 검사공정이 더 빠르다는 장점이 있습니다. 반사광검사장비는 15nm, 산란광검사장비는 30nm 정도 패터닝 검사가 가능하다고 해요.
넥스틴은 부품모듈을 협력업체로부터 사와서 조립, S/W장착, 테스트공정을 해요. 부품을 직접 생산하지 않기에 설비장치가 많지않죠.
넥스틴은 검사장비를 A To Z까지 혼자서 만들지 않아요. 여러 파트너사들에게 원하는 스펙의 부품을 주문을 하는데, 모듈화된 부품들을 원하죠. 그러면, 동사는 부품모듈을 갖고 조립을 하고 여기에 S/W을 장착하고 테스트공정을 넣죠. 부품모듈이 들어온다는 것은 자립도가 낮다는 의미이지만, 생산시설을 많이 갖고 있지않아서 감가상각에서 다소 자유로울 수 있는 것으로도 해석할 수 있어요.
검사장비를 만드는 넥스틴이 다루는 것도 제일 잘 알겠죠. 그래서, 장비만 납품하는 것이 아니라 용역도 파견을 합니다. 동사 용역이 가서 검사장비 A/S를 한다거나 시운전을 하는 것이죠.
연구실적으로 보는 넥스틴의 현 주소 :
개인적으로 넥스틴의 연구실적과 연구계획을 보면 동사의 현 상황과 미래 비전이 보인다고 생각을 하는데요. 같이 몇 개만 살펴볼까요.
넥스틴의 연구소는 국내, 이스라엘에 각각 하나 씩 위치해있는데요. 국내연구소가 광학검사장비에 대한 종합적인 연구개발을 한다면, 이스라엘은 이미지프로세싱을 위한 전문적인 연구소입니다. 광학검사장비라는 것이 결국 검사를 정확히 해서 인간에게 선명한 이미지를 보여주는 것이 핵심이죠. 이스라엘은 첩보위성을 보유했기 때문에 고해상도의 이미지를 얻는 것을 굉장히 잘합니다. 이러한 이스라엘 인프라를 이용하기 위해 이곳에 R&D 센터를 세운 것이죠.
동사의 R&D 계획을 보겠습니다. 동사는 전공정 웨이퍼 상태를 체크는 광학검사장비를 납품하는 업체이죠. 다만, 전공정의 패터닝 미세화 한계로 후공정의 중요성이 커지고 있는데요. 후공정을 이제는 Advanced Packaging이라고 할 정도이죠. 그래서, 넥스틴은 후공정 관련 검사장비개발에 투자하고 있는 것을 확인할 수 있어요.
또한, 전공정내에서 정전기를 제거하는 장비를 개발하고 있는데요. 정전기는 서로 다른 전위를 갖는 두 물체 사이에서 생기는 마찰이죠. 마찰을 할때 전기가 발생하는데, 전기는 -,+극이 만날 때 발생을 하죠. 즉, 전하가 이동을 해버려요. 반도체공정에서 정전기가 발생을 한다면, 그렇게 예민한 반도체에 타격을 줄 수가 있습니다. 중성상태인 안정된 상태가 되어야하는데, 마찰을 일으키니깐요. 그래서, 정전기를 제거해줘야하는데 넥스틴이 연구개발하고 있네요.
넥스틴에 대한 지속적인 업데이트는 맨 위 상단을 참고하면 유익합니다 :)
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