제우스 사업
반도체습식세정장비(72%, 웨이퍼세정), 디스플레이장비(4%, 분류&이송&검사장비, PR Strip), 산업용로봇&진공증착장비(20%,), 플러그밸브(4%)
1. 반도체 습식세정장비 : 웨이퍼 세정, 포토마스크 세정
* 웨이퍼세정 종류 : Single, Batch Type > 웨이퍼 미세오염물질 제거 > 수율UP
· 웨이퍼 열처리장비 : 웨이퍼 급속열처리 장비
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2. In Line System(디스플레이)장비 : 분류&이송&검사, 열처리 검사, PR Strip
* Glass의 반송과 정보처리 담당 > 스팀 처리, 열 처리 검사
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3. 산업용 로봇&진공펌프
* 진공펌프 : 반도체 챔버 진공화
기회
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리스크
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업데이트 :
주주구성(23.11월 기준) :
제우스
1. 반도체 습식세정장비 : Single, Batch Type
제우스는 반도체 세정장비를 판매하고 있는데요. 정확히는 웨이퍼를 세정하는 장비입니다. 웨이퍼는 공정에 따라서 챔버안에 한개(Single), 여러 개(Batch)가 들어가는데요. 둘 다 세정할 수 있게, Single, Batch 타입 모두 세정장비 캐파를 보유하고 있어요.
반도체가 점차 미세화되고 고집적화 되자 점점 보이지 않는 미세오염물질이 웨이퍼에 끼기 시작했는데요. 이를 그대로 방치해두면 수율이 떨어지는 문제가 발생할 수 있어요. 기껏 비싼 돈 들여서 전-후공정 모두 끝냈는데, 작은 오염물질로 반도체가 작동을 안하면 큰 손실을 보겠죠. 그래서, 세정 작업의 중요성이 부각되고 있어요.
정리
반도체 습식세정장비 : Single, Batch Type > 웨이퍼 미세오염물질 제거 > 수율UP
2. 디스플레이 자동화물류장비 :
제우스는 디스플레이 물류자동화장비도 생산을 하는데요. 디스플레이 물류자동화장비는 글래스로 패널을 만드는 과정 중 필요한 이송, 분류, 검사 등을 해주는 것을 포함해요. 특히, 스팀 같이 열 같은 것을 중간에 가해서 Glass를 테스트합니다.
정리
디스플레이 In Line System 장비 : Glass의 반송과 정보처리 담당
3. 산업용 로봇 :
제우스는 산업용 로봇도 생산을 해요. 반도체 세정장비, 디스플레이 이송검사장비를 기본적으로 만들 수 있다보니 로봇제작도 할 수 있게 되었는데요.
연구실적으로 보는 제우스의 현 주소 :
개인적으로 제우스의 연구실적과 연구계획을 보면 동사의 현 상황과 미래 비전이 보인다고 생각을 하는데요. 같이 몇 개만 살펴볼까요.
제우스는 디스플레이공정에서 글래스를 옮기고 테스트하는 전반적인 시스템을 공급한다고 했죠. 아래 R&D를 보면, Glass를 검사하기 위한 급속냉각시스템을 개발한 것을 알 수 있어요. 이를 통해서 공정 중, Glass를 검사하고 정보를 저장, 분류하고 있다는 것을 유추할 수 있습니다.
동사는 Wet 세정장비 뿐만 아니라 PR Strip도 개발했는데요. PR은 Photo Resist의 줄임말로 감광액을 말하죠. 노광공정 때 회로를 그리기 위해 쓰이는 소재이죠. 회로를 그리고 난 후, PR이 남는데, 이를 제거하기 위한 장비를 개발한 것으로 보여요. 더군다나 약품에 의해 발열시켜 제거하는 것이 아닌 열판 자체를 가열하여 PR를 제거하여 저전력, 친환경적으로 제거할 수 있다는 것을 보여주고 있습니다.
제우스에 대한 지속적인 업데이트는 맨 위 상단을 참고하면 유익합니다 :)
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