디바이스이엔지 사업
오염제거장비(99%, 반도체=FOUP세정, OLED=FMM세정), 기타(1%, 부품)
1. FOUP세정장비 : FOUP을 세정
FOUP(Front Opening Unified Pod) : When 웨이퍼 이송 시, 웨이퍼 보호용기
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2. FMM 세정장비 : Fine Metal Mask 세정작업
* FMM(Fine Metal Mask) : 유기물 증착 시, 마스크 역할
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디바이스이엔지
디바이스이엔지는 반도체, OLED용 오염제거장비를 주력으로 만들고 있어요. 또한, 오염제거 이후 광학계로 검사할 수 있는 광학검사장비까지 생산하고 있습니다.
1. FOUP세정장비 : Front Opening Unified Pod
디바이스이엔지는 FOUP세정장비를 만드는데요. 웨이퍼를 이송할 때는 외부 오염물질로부터 보호할 필요가 있어요. 웨이퍼를 담는 용기를 FOUP(Front Opening Unified Pod)이에요. 이름 그대로 해석하면, '앞이 열리는 통일된 상자' 정도로 이해할 수 있겠네요. 간단하게 웨이퍼 보관용기라고 생각하면 돼요. 웨이퍼 보관용기가 외부 오염물질로부터 보호를 하면, 용기 자체는 더러워져있겠죠. FOUP도 세정작업이 필요해요. 이러한 세정작업을 하는 장비를 FOUP세정장비라고 부릅니다.
정리
FOUP세정장비 : FOUP을 세정
FOUP(Front Opening Unified Pod) : 앞이 열리는 통일된 상자 > 역할 : When 웨이퍼 이송 시, 웨이퍼 보호용기
2. FMM 세정장비 : Fine Metal Mask
OLED디스플레이는 스스로 발광하는 유기물들을 글래스에 증착을 해줘야하는데요. 증착을 할 때, 고온으로 증착원을 증발시켜서 증착을 시켜요. 이때, 정확한 픽셀 위치에 증착이 되도록 필터링이 필요한데요. 이를, FMM(Fine Metal Mask)라고 불러요. 이름 그대로, 정제된(Fine) 금속(Metal)으로 만들어진 마스크(Mask)인 것이죠. FMM을 세정하는 FMM 세정장비를 디바이스이엔지는 만드는 것입니다.
정리
FMM 세정장비 : Fine Metal Mask 세정작업
* FMM(Fine Metal Mask) : 유기물 증착 시, 마스크 역할
연구실적으로 보는 디바이스이엔지의 현 주소 :
개인적으로 디바이스이엔지의 연구실적과 연구계획을 보면 동사의 현 상황과 미래 비전이 보인다고 생각을 하는데요. 같이 몇 개만 살펴볼까요.
디바이스이엔지에 대한 지속적인 업데이트는 맨 위 상단을 참고하면 유익합니다 :)
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