메카로 사업
알루미늄히터블럭(90%), 기타(10%)
· 히터블럭(알루미늄) : 챔버의 고온을 유지 > 웨이퍼의 표면온도 균일하게 높임 > CVD, ALD 효율적으로 실행가능
* 세라믹 히터블럭 vs. 알루미늄 히터블럭 : 세라믹(2,000도) vs. 알루미늄(660도) > 일본업체가 세라믹, 동사는 알루미늄
· 자회사 케이브티에스 : 특수밸브
기회
· HBM 등 점차 반도체 고층화 > 증착공정 횟수 증가 > 히터블럭 사용 증가
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리스크
· 동사의 알루미늄 히터블럭 660도가 한계 > 일본의 세라믹 히터블럭은 2,000도 이상
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업데이트 :
주주구성(23.6월 기준) :
메카로
메카로가 생산하고 있는 메타히터블럭은 챔버 내에서 전공정이 진행되는 웨이퍼에 균일한 열 에너지를 공급해주는 역할을 해요. 특히, 증착공정에서 열이 굉장히 중요한데요. CVD(Chemical Vapor Deposition) 공법 처럼 화학적 기상증착방식은 온도가 높아야 기화열로 증착을 할 수 있게 되죠. 메카로의 히터블럭은 500도 미만에서는 주로 알루미늄 히터블럭을 사용, 이상에서는 AIN 히터블럭을 사용하고 있습니다.
챔버 안을 고온으로 유지해야하는 이유를 더 설명해드릴게요. 아무리, 증착용 가스를 기화열로 잘 바꾸었다고 해도, 웨이퍼 표면의 온도가 차가우면 잘 증착되지 않습니다. 이것은 집안에 에어컨과 비교가능해요. 거실에 에어컨을 틀어놔서 시원바람이 가득차있다고 해보죠. 반대로, 제 방은 에어컨이 없어 뜨겁습니다. 문을 열어보면, 시원한 바람이 제 방으로 들어오죠. 뜨거운 바람이 나가는게 아니라요. 웨이퍼 입장에서 생각해보면, 자신이 차가우니 오히려 뜨거운 기화열을 밀어낼 수가 있어요. 그렇기 때문에 챔버 내에 웨이퍼의 온도를 높여주는 것이 굉장히 중요합니다.
다만, 메카로의 기술적 한계는 히터블럭을 알루미늄으로 밖에 생산하지 못한다는 것이에요. 알루미늄은 660도가 녹는 점입니다. 실제 공정에서는 이것보다 더 보수적으로 잡아야하죠. 반면, 세라믹으로 만든 히터블럭은 녹는 점이 2,000도 이상이에요. 압도적으로 세라믹(Ceramic)이 열에 잘 견디죠. 현재, 세라믹으로 만든 히터블럭은 일본 업체가 독점 중에 있습니다. 메카로도 세라믹으로 만든 히터블럭을 R&D하고 있는 것으로 알고 있어요.
연구실적으로 보는 메카로의 현 주소 :
개인적으로 메카로의 연구실적과 연구계획을 보면 동사의 현 상황과 미래 비전이 보인다고 생각을 하는데요. 같이 몇 개만 살펴볼까요.
메카로의 히터블럭은 챔버 내에 있는 웨이퍼의 표면 온도를 올려주는 것이라고 했죠. 이때, 더욱 중요한 것은 '균일하게' 온도를 올려야한다는 것입니다. 만일, 웨이퍼의 반은 뜨겁고 나머지 반은 덜 뜨겁다고 해보죠. 그러면, 증착공정에서 불균일하게 웨이퍼표면이 증착될 거에요. 그래서, 열도 균일하게 올려주는 것이 중요하다는 것을 메카로의 R&D를 보면 확인할 수 있습니다.
메카로에 대한 지속적인 업데이트는 맨 위 상단을 참고하면 유익합니다 :)
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